聯(lián)儀壓力變送器已突破歷史性三大問題
用半導(dǎo)體硅集成電路工藝制備壓力變送器已有30多年歷史了,隨著市場需求其每年以20%的速度增長,競爭十分劇烈,但仍存在以下間題迫切需要解決,并應(yīng)引起注意:
(1)電阻非線性間題突出。力敏電阻依靠p-n結(jié)與襯底隔離,在p區(qū)側(cè)的耗盡層寬度與外加電壓有關(guān),故電阻條的有效導(dǎo)電厚度隨外加電壓而變化,表現(xiàn)為非線性,并直接導(dǎo)致零點的電漂移。
(2)零點電漂移。壓力變送器的特性指標(biāo)除眾所周知的幾個之外,我們在上百次對國內(nèi)外不同品種的壓力變送器進行測定時,均發(fā)現(xiàn)了零點電漂移現(xiàn)象,在國際上我們是領(lǐng)先觀察到并給予定義的。零點電漂移影響壓力變送器的測量精度,使靈敏度大大降低。
(3)熱零點漂移與漏電問題。熱零點漂移是影響壓力變送器性能的重要指標(biāo),受到廣泛重視。國際上認(rèn)為熱零點漂移僅取決于力敏電阻的不等性及其溫度非線性,但我們認(rèn)為熱零點漂移還與力敏電阻的反向漏電有關(guān),對該理論作出了重要補充,還指出多晶硅可以吸除襯底中的重金屬雜質(zhì),從而減小力敏電阻的反向漏電、改善熱零點漂移,提高變送器的性能。
除動態(tài)響應(yīng)特性、噪聲等指標(biāo)外,在國際上我們首先發(fā)現(xiàn)并提出零點電漂移也應(yīng)作為一個特性指標(biāo)。
衡量智能壓力變送器性能大致有下列七個指標(biāo):線性度、靈敏度、重復(fù)性、遲滯、分辨率、漂移、穩(wěn)定性。漂移可分為溫漂、時漂、力學(xué)蟠變漂移以及電源的不穩(wěn)定性。溫漂又分為熱零點和熱靈敏度漂移。雖然人們曾提到過電源不穩(wěn)定性造成的漂移,但沒有明確提出過零點電漂移這個概念,也不把它當(dāng)作一個可測定的技術(shù)指標(biāo)。
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